Hochgenaue Fertigungstechnologien stellen die dimensionelle Messtechnik vor enorme Herausforderungen. In Ermangelung geeigneter Sensorsysteme sind Messungen an komplexen Geometrien mit einem Höchstwert der Messunsicherheit im Nanometerbereich ein größtenteils immer noch ungelöstes Problem. Hauptursächlich ist das Fehlen geeigneter Verfahren zur hochgenauen Kalibrierung mikrodimensionaler Referenzkörper sowohl hinsichtlich ihrer Grob- als auch ihrer Feingestalt. In der vorliegenden Arbeit werden zwei diesbezüglich potentiell geeignete Messmethoden präsentiert und untersucht. Dies ist zum einen ein Rasterkraftmikroskop mit einstellbarer Antastrichtung zur Kalibrierung der Feingestalt und zum anderen die bidirektionale Konfokalmikroskopie zur Kalibrierung der Grobgestalt nanometrologischer Referenzkörper.

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