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Laserscanner und Minispektrometer basierend auf hochdispersiven optischen Dünnschichtfiltern
Sabine Peters
2011
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Zwei neuartige integrierte Bauelemente werden erstmals realisiert und ihre Möglichkeiten und Limitationen diskutiert: ein Dünnschicht-Laserscanner und ein Dünnschicht-Minispektrometer. Die Bauelemente sind mit ca. 10 mm³ von sehr geringer Baugröße. Es wird zudem gezeigt, dass mit dem vorgestellten Konzept eine Strahlablenkung im Raum ohne den Einsatz mechanischer Aktuatoren möglich ist.
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Keywords
- Dünnschichten
- Laserscanner
- Mikrolinsen
- Minispektrometer
- Strahlablenkung
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DOI: 10.5445/KSP/1000023319Editions