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Ziel dieser Arbeit ist die Entwicklung eines metallischen Nanoaktors, dessen mechanisches Verhalten über magnetische Felder gesteuert werden kann. Mit Hilfe der in der Mikrotechnik etablierten Technologien werden Titan-Nanobiegebalken realisiert, dessen Vorderenden mit einem magnetischen Element funktionalisiert sind. Prozessablauf und Charakterisierungsmethoden werden ausführlich beschrieben und liefern wertvolle Erkenntnisse für den Betrieb solcher Nanoaktoren in zukünftigen Nanosystemen.
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Keywords
- Magnetpartikel
- Nanoaktoren
- Nanoaktoren, Magnetpartikel, Nanostrukturierung. Nanobalken
- Nanostrukturierung. Nanobalken
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DOI: 10.5445/KSP/1000032505Editions