Explore
Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren : ein mikrooptisches System auf der Basis mikrooptischer Bänke
Sven Schüle
2010
0 Ungluers have
Faved this Work
Login to Fave
Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.
This book is included in DOAB.
Why read this book? Have your say.
You must be logged in to comment.