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Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren
Thomas Grund
2010
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Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.
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Keywords
- Aktorik
- Formgedächtnislegierung
- Mikrosystemtechnik
- Serienfertigung
- Ventil
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DOI: 10.5445/KSP/1000016593Editions