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High Quality Nb, Al-AlO_1tnx, Nb Josephson Junctions

High Quality Nb, Al-AlO_1tnx, Nb Josephson Junctions

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Diese Arbeit beschreibt die Entwicklung einer Technologie für die Herstellung hochqualitativer sub-µm Nb/Al-AlOx/Nb-Josephson-Kontakte. Mit den dadurch entstandenen Bauteilen wurden verschiedene experimentell zuvor noch nicht beobachtete makroskopische Quanteneffekte nachgewiesen. Weiterhin wurden Nb-basierte Phasen-Qubits entworfen, hergestellt und gemessen, die längere Kohärenzzeiten als vergleichbare Bauelemente aus der Literatur aufweisen.

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DOI: 10.5445/KSP/1000022422

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