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Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen
Michael Teutsch
2013
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Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt für ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Wärmebehandlung bietet die Möglichkeit, Ni-Al Superlegierungen für Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. Über LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugprüfkörper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilität gegen plastische Verformung.
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- 36 - pdf (CC BY-NC-ND) at Unglue.it.
Keywords
- LIGA
- Mikrosysteme
- Nickel
- Superlegierung
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DOI: 10.5445/KSP/1000034771Editions