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Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
Dominik Stöffler
2014
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In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.
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Keywords
- Elektromigration
- Elektronenstrahllithografie
- Maskenbedampfung
- Nanostrukturen
- Rastersondenmikroskopie
- thema EDItEUR::P Mathematics and Science::PH Physics
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DOI: 10.5445/KSP/1000027524Editions