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Herstellung photonischer Komponenten durch Heißprägen und UV-induzierte Brechzahlmodifikation von PMMA
Mathias Bründel
2008
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Im Polymer PMMA wurden durch Heißprägen sowohl stark führende, passive optische Wellenleiter wie auch organische DFB-Laser hergestellt und charakterisiert. Die Replikation der Strukturen erfolgte dabei durch auf Basis von mit UV- und Röntgenlithografie strukturierten Nickel-Shim-Formeinsätzen im LIGA-Verfahren.
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Keywords
- Heißprägen
- Heißprägen, Wellenleiter, PMMA
- PMMA
- Wellenleiter
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DOI: 10.5445/KSP/1000007719Editions