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Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem
Daniel Auernhammer
2012
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In einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Dünnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. Die Untersuchung der Eignung des magnetoresistiven Materials zur Positionsermittlung ist Ziel dieser Arbeit. Zur vergleichenden Bewertung werden kapazitive und resistive Referenzsensoren herangezogen.
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Keywords
- Ablenksystem
- Ferromagnetische Formgedächtnislegierung
- Mikrosystemtechnik
- Ni-Mn-Ga
- Positionsermittlung
- Technology, engineering, agriculture
- Technology: general issues
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DOI: 10.5445/KSP/1000027008Editions