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MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
Manfred [Hrsg.] Bär
2006
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Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben.
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Keywords
- Fertigungstechnik
- Mikrooptik
- Mikrosensor
- Modulbauweise
- Optischer Sensor
- Optoelektronik
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DOI: 10.5445/KSP/1000003769Editions