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keyword: LIGA – 6 free books.

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Refraktive Multifokusröntgenlinsen und Hartmann-Shack-Sensoren

Alexander Opolka

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Refraktive Multifokusröntgenlinsen und Hartmann-Shack-Sensoren
Alexander Opolka
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Prozessentwicklung eines industrietauglichen Verfahrens zur Fertigung von vereinzelten LIGA-Mikrobauteilen

Heneka, Jochen

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Prozessentwicklung eines industrietauglichen Verfahrens zur Fertigung von vereinzelten LIGA-Mikrobauteilen
Heneka, Jochen
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Großformatige Abformung mikrostrukturierter Formeinsätze durch Heißprägen

Christian Mehne

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Großformatige Abformung mikrostrukturierter Formeinsätze durch Heißprägen
Christian Mehne
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Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen

Michael Teutsch

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Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen
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X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control

Frieder Johannes Koch

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X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control
Frieder Johannes Koch
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Herstellung von Gitterstrukturen mit Aspektverhältnis 100 für die Phasenkontrastbildgebung in einem Talbot-Interferometer

Johannes Kenntner

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Herstellung von Gitterstrukturen mit Aspektverhältnis 100 für die Phasenkontrastbildgebung in einem Talbot-Interferometer
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